隨著進入WTO時代的來臨，台灣已站在全球化競爭舞台之上， 半導體技術是科技產業的重要指標。其中，蝕刻製程與設備 技術的良劣，直接影響晶圓產品良率的高低，高精密的蝕刻 機台設備正是關鍵技術。 為因應精密機械科技時代的來臨，本校特別邀請來自科技產 業界的專家，舉辦蝕刻設備技術研討會。內容包含Foundry廠 蝕刻設備即時監控、標竿製程設備之導入、DRAM晶圓廠之應 用、設備開發技術與製程設備原理等。期望提供與會來賓對 半導體蝕刻設備技術的知識饗宴，提昇本校的科技教學與研 究品質。 主辦單位：東南技術學院 機械工程系 會議日期：九十一年五月一日（星期三）AM 09:00 ~ PM 15:00 會議地點：東南技術學院 中正教學大樓11F國際會議廳 歡迎於五月一日之前以通訊、電子郵件、傳真或電話報名
場次 |
演講題目 |
主講人 |
時間 |
主講人單位 |
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報到 |
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08:30~09:00 |
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開幕致詞 |
黃賢統 |
09:00~09:10 |
東南技術學院校長 |
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1 |
Foundry廠蝕刻設備即時之監控分析 |
陳正剛 |
09:10~10:00 |
台灣大學工管系副教授 |
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2 |
半導體蝕刻標竿設備之導入分析 |
呂日勇 |
10:00~10:50 |
美商應用材料公司蝕刻資深工程師 |
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茶敘 |
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10:50~11:10 |
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3 |
DRAM蝕刻製程設備之應用分析 |
陳兆宏 |
11:10~12:00 |
南亞科技公司一廠蝕刻設備課經理 |
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中餐 |
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12:00~13:00 |
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4 |
半導體蝕刻設備技術之開發分析 |
戴涪 |
13:00~13:50 |
中山科學研究院二所蝕刻機台計劃主持人 |
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5 |
半導體蝕刻製程設備之原理分析 |
王俊程 |
13:50~14:40 |
東南技術學院助理教授 |
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綜合座談 |
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14:40~15:00 |
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