研磨
經過取樣或鑲埋好的試片，必須將要檢查的那一面先磨平再磨光。研磨過程是先用粗顆粒的砂紙將試片面研磨平，再以較細的砂紙將前一次的研磨痕跡完全磨掉，使用＃120→＃320→＃600→＃800→＃1200等級砂紙依序研磨且各用1min、2min、4min、8min、16min來加以研磨。在每換一級砂紙時，將試片轉90度，使舊痕跡的方向垂直於新研磨方向，可以達到較高的研磨效果。