掃描探針奈米科技實驗室
已發展之技術能力
現有設備(千萬元之奈米檢測設備)
東南科技大學 機械系黃仁清老師 E-mail:jchuang@mail.me.tnu.edu.tw
電話02-86625916~7 分機39、53
●多模態原子力顯微鏡(Multi-Mode Atomic Force Microscope)
●具備之模態：接觸式原子力顯微鏡(Contact Mode AFM) 、側向力原子力顯微鏡(LFM)、輕敲式原子力顯微鏡(Tapping
Mode AFM)、液相接觸式原子力顯微鏡(Fluid Contact Mode AFM)、液相輕敲式原子力顯微鏡(Fluid
Tapping Mode AFM)、電化學原子力顯微鏡(EC-AFM)、磁力顯微鏡(MFM)、掃描式熱梯度顯微鏡(SThM)、奈米微影加工(NanoLithography)
v荷重範圍： Maximum 30mN，解析度2nN
v壓痕深度： 1nm~50mm，解析度0.0002nm
v側向力範圍：Max 10 mN in X axis，解析度小於4mN
v進行微刮痕、微壓及微磨耗試驗量測。
v可分析出工件之微機械性質，包括彈性係數，硬度，剛性，彈性係數 vs. 深度及硬度 vs. 深度等
●奈米硬度量測儀 (Nano Indenter)
多模態原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
電化學原子力顯微鏡
奈米硬度量測儀
v奈米級表面形貌之量測與分析技術
v奈米級表面磨潤特性之量測與分析技術
v奈米科技推廣教育：加入教育部北區奈米人才培育團隊而成為夥伴實驗室，已舉辦原子力顯微鏡(AFM)、奈米壓痕試驗機(NanoIndenter)技術講習班、奈米尺度表面形貌檢測研討會與奈米尺度機械性質檢測研討會。
v學術交流：學術交流(合作)之單位包括國立臺灣大學機械工程系、國立臺灣科技大學機械工程系、國立清華大學工程與系統科學系、國立清華大學材料科學工程學系、國立交通大學材料科學與工程學系、國立臺北科技大學材料及資源工程系、國立虎尾科技大學材料科學與工程系、大同大學材料工程學系等。
v技術服務：已完成技術服務委託專案二十餘件。委託單位包括工研院光電所、金工中心、中國砂輪、景美科技等公民營企業與多所公私立大學。共已收入一百餘萬元。
v奈米級機械性質之量測與分析技術
v奈米級加工與奈米微影加工技術
現有成果
(Scanning Probe Microscopy & Nano Technology Lab)
●精度: 垂直 0.1 Å，橫向: Å LEVEL