振動分析與微結構動態量測實驗室
(
Vibration Analysis and Microstructure Dynamics
Measurement Lab
)
宗
旨
研究項目
1.
微機電結構之最佳化設計，包括：生化感測器、原子力顯微鏡探針（
V
形及
數種新型探針）。
2.
應用動態有限元素分析模型更新法，萃取微機電結構之薄膜材料機械性質。
3.
印刷電路板層級構裝系統動態行為分析與實驗，及印刷電路板最佳支撐點設計。
設備與成果
藉由模態實驗，量測微奈米機電結構及一般結構之自然頻率、模態振
形與變形，並配合有限元素法，進行有限元素分析模型更新，由此瞭解微
奈米結構及一般結構之動態特性，進而可進行微奈米裝置及一般結構之最
佳化分析、設計與製作。
東南科技大學
機械系
陳坤男
老師
電話：
02-86625916
轉
73
E-mail:
knchen@mail.tnu.edu.tw
全域式微奈米振動量測儀
（
MicroMap 5010
）
B&K 3560C
頻譜分析儀
˙振動量化量測分析:
振動頻率DC-20 MHz
縱向位移解析度:1 nm
橫向位移解析度:3-4
m
m
˙2D與3D影像模擬顯示
˙即時振幅干涉條紋顯示
，振動頻率1 GHz
˙即時變形干涉調紋顯示
與相位解調
˙四頻道振動、噪音之訊
號量測及頻譜分析
˙可使用ICP式加速規，
可接Intensity Probe
˙FFT分析最高6400條線
˙可做一次二次積分微分
˙包括二頻道訊號產生器
˙量測頻率最高至25.6kHz
微懸臂樑
3D
量測模態
原子力顯微鏡
V
形探針之量測與最佳化設計
印刷電路板層級構
裝系統動態行為分
析與實驗及最佳支
撐點設計