半導體蝕刻設備技術研討會


隨著進入WTO時代的來臨,台灣已站在全球化競爭舞台之上,  
半導體技術是科技產業的重要指標。其中,蝕刻製程與設備  
技術的良劣,直接影響晶圓產品良率的高低,高精密的蝕刻  
機台設備正是關鍵技術。                 
為因應精密機械科技時代的來臨,本校特別邀請來自科技產  
業界的專家,舉辦蝕刻設備技術研討會。內容包含Foundry廠  
蝕刻設備即時監控、標竿製程設備之導入、DRAM晶圓廠之應  
用、設備開發技術與製程設備原理等。期望提供與會來賓對  
半導體蝕刻設備技術的知識饗宴,提昇本校的科技教學與研  
究品質。                        
                            
主辦單位:東南技術學院 機械工程系            

會議日期:九十一年五月一日(星期三)AM 09:00 ~ PM 15:00  

會議地點:東南技術學院 中正教學大樓11F國際會議廳    

歡迎於五月一日之前以通訊、電子郵件、傳真或電話報名   



◎活動內容:

場次

演講題目

主講人

時間

主講人單位

 

報到

 

 

08:30~09:00

 

 

開幕致詞

黃賢統

09:00~09:10

東南技術學院校長

1

Foundry廠蝕刻設備即時之監控分析

陳正剛

09:10~10:00

台灣大學工管系副教授

2

半導體蝕刻標竿設備之導入分析

呂日勇

10:00~10:50

美商應用材料公司蝕刻資深工程師

 

茶敘

 

10:50~11:10

 

3

DRAM蝕刻製程設備之應用分析

陳兆宏

11:10~12:00

南亞科技公司一廠蝕刻設備課經理

 

中餐

 

12:00~13:00

 

4

半導體蝕刻設備技術之開發分析

戴涪

13:00~13:50

中山科學研究院二所蝕刻機台計劃主持人

5

半導體蝕刻製程設備之原理分析

王俊程

13:50~14:40

東南技術學院助理教授

 

綜合座談

 

14:40~15:00

 

主辦單位:東南技術學院機械工程系(地理位置)
會議日期:九十一年五月一日(星期三)AM 09:00 ~ PM 15:00
會議地點:東南技術學院中正教學大樓11F國際會議廳
會議地址:台北縣深坑鄉北深路三段152號(北二高深坑交流道旁)
報名期限:四月三十日截止報名。免費,名額有限,歡迎參加。
請盡量以傳真報名FAX:02-86625919,註明姓名、單位、聯絡方式、「參加半導體研討會」。          
聯絡:東南技術學院機械工程系 王俊程助理教授TEL:02-86625917 ext 26
EMail:jcw@mail.me.tnit.edu.tw                  


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